佳能※1將于2020年11月下旬正式發(fā)售FPD（Flat Panel Display）曝光設備新產(chǎn)品“MPAsp-E903T”。該產(chǎn)品可應對第6代玻璃基板尺寸※2，針對因進一步高精細化而備受期待的新一代中小型顯示面板市場，可以實現(xiàn)1.2μm※3的解析度（L/S※4）。

顯示面板技術隨著OLED的普及逐漸向高精細化方向發(fā)展，同時在智能手機上的應用變得越來越薄型化、輕量化，而在折疊式應用上趨向不斷大型化。另一方面，在VR相關的顯示產(chǎn)品上小型化的趨勢也在不斷發(fā)展，呈現(xiàn)多樣化的需求。新產(chǎn)品可以應對新一代顯示面板制造中不可或缺的高精細化需求，致力于實現(xiàn)多種面板的生產(chǎn)制造。

■ 實現(xiàn)FPD曝光設備中的1.2μm高解析度

在佳能的FPD曝光設備中，新產(chǎn)品首次※5搭載使用了DUV（深紫外線）※6波長的新光源。該產(chǎn)品充分利用了鏡面光學系統(tǒng)特有的優(yōu)點，即使波長變化對色差影響很小，通過使用比以往的紫外線波長更短的新光源以及新開發(fā)的投影光學系統(tǒng)，實現(xiàn)了1.2μm解析度的曝光。如果應用相移掩模等超解析技術※7可進一步實現(xiàn)1.0μm解析度的曝光，助力顯示技術的高精細化發(fā)展。

■ 多樣化的曝光模式，用戶可靈活構建工藝產(chǎn)線

在搭載新投影光學系統(tǒng)和新光源系統(tǒng)的基礎上，新產(chǎn)品增加了曝光模式數(shù)量，可匹配合適的曝光條件，實現(xiàn)多種電路圖的高效曝光。此外，新產(chǎn)品還可以與掩模版尺寸和設備界面都共通的上一代機型“MPAsp-E813H”（2014年9月發(fā)布）組合使用，便于用戶靈活地構建工藝產(chǎn)線。

■ 兼顧生產(chǎn)性，提升套刻精度

通過設備內(nèi)部布局和溫度調節(jié)系統(tǒng)的改進，實現(xiàn)了±0.25μm的高套刻精度（重合性精度）。因此，該產(chǎn)品可以有效滿足用戶高精細面板生產(chǎn)的需求。

※1  為方便讀者理解，本文中佳能可指代：佳能（中國）有限公司，佳能股份有限公司，佳能品牌等

※2  1,500×1,850mm尺寸的玻璃基板，應用于以智能手機為代表的中小型顯示面板的制造中。

※3  1μm為百萬分之一米（＝1mm 的千分之一）。

※4  Line and Space的簡稱。Line（線程）和Space（間距）等距離間隔排列電路圖。

※5  針對FPD曝光設備。截至2020年11月9日。（佳能調查）

※6  Deep ultra-violet的簡稱。與以往的FPD曝光設備使用的紫外線相比更短波長的紫外線。

※7  控制光的位相或強度，使曝光設備解析度提升的技術。

＜主要特點＞

1. 實現(xiàn)FPD曝光設備中的1.2μm高解析度

• 在FPD曝光設備中，新產(chǎn)品首次搭載使用DUV（深紫外線）波長的新光源。充分利用了即使波長變化也對色差影響很小的鏡面光學系統(tǒng)所特有的優(yōu)點，實現(xiàn)了比以往所使用的g線（436nm※），h線（405nm）和i線（365nm）更短的290～380nm。由于使用了新光源以及新開發(fā)的投影光學系統(tǒng)，新產(chǎn)品實現(xiàn)了1.2μm解析度曝光，可以推進顯示面板的進一步高精細化。

• 
  應用相移掩模等超解析技術可實現(xiàn)1.0μm解析度的曝光。

 ※1nm（納米）等于10億分之1米。

2. 多樣化的曝光模式，用戶可靈活構建工藝產(chǎn)線

在搭載新投影光學系統(tǒng)和新光源系統(tǒng)的基礎上，新產(chǎn)品增加了曝光模式數(shù)量，可匹配合適的曝光條件，實現(xiàn)

※1　Line and Space的略稱。Line（線程）和Space（間距）等距離間隔排列電路圖。

※2　Contact Hole的略稱。為形成配線貫穿復數(shù)層的圓形電路。

※3　σ（sigma）表示，光源系統(tǒng)NA（開口數(shù)）和投影系統(tǒng)NA（開口數(shù)）的比率。

3. 兼顧生產(chǎn)性，提升套刻精度

通過設備內(nèi)部布局和溫度調節(jié)系統(tǒng)的改進，實現(xiàn)±0.25μm的高套刻精度（重合性精度）。因此，新產(chǎn)品可以有效地滿足用戶高精細面板生產(chǎn)的需求。

＜新產(chǎn)品介紹視頻＞

新產(chǎn)品的技術介紹視頻在佳能官網(wǎng)上現(xiàn)已發(fā)布。視頻配有針對產(chǎn)品特點的清晰易懂的解說。

URL：http://www.canon.com.cn/video/Video_play/225.html

＜中小型顯示面板制造設備的市場動向＞

顯示面板技術隨著OLED的普及逐漸向高精細化方向發(fā)展，同時在智能手機上的應用變得越來越薄型化、輕量化，而在折疊式應用上趨向不斷大型化。另一方面，在VR相關的顯示產(chǎn)品上小型化的趨勢也在不斷發(fā)展，呈現(xiàn)多樣化的需求。因此，F(xiàn)PD曝光設備致力于超高精細和可折疊式等高附加值顯示面板的量產(chǎn)。

＜主要產(chǎn)品規(guī)格＞

詳細的產(chǎn)品規(guī)格請參考公司網(wǎng)站。

URL：https://global.canon/en/product/indtech/fpd/

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